top of page
TANKEN_Header.jpg

แผ่นคาร์บอนดูดจับชิ้นงานสุญญากาศ
(Porous Carbon Pad - Porous Vacuum Chucks)
การนำไฟฟ้าของคาร์บอนช่วยป้องกันความเสียหายที่เกิดจากประกายไฟ

ข้อมูลสินค้า

รองรับชิ้นงานขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 450 มม.

ด้วยความแม่นยำสูงสุดกับแผ่นคาร์บอนสุญญากาศ

Carbon Suction Cup_Structure.png

Φ300mm Porous Carbon Pad

● แผ่นดูดสูญญากาศชนิดนี้ผลิตจากวัสดุคาร์บอนทั้งหมด โดยทำการรวมวัสดุคาร์บอนพรุนสำหรับการดูดซับเข้ากับโครงสร้างคาร์บอนที่มีความแข็งแรงสูง
● สามารถดูดจับซิลิคอนเวเฟอร์ (silicon wafers), เทปกาว BG (BG tape), แผ่นฟิล์มติดดาย และเทปไดซิ่งตัดชิ้นงานได้เต็มพื้นที่ผิวด้วยวัสดุพรุน
● ขนาดรูเฉลี่ยเล็กเพียง 5 ไมครอน จึงสามารถช่วยป้องกันการเกิดรอยดูดบนวัสดุชิ้นงานได้
● รองรับการดูดเฉพาะจุดได้ด้วยคุณสมบัติการควบคุมแรงดูดที่เหมาะสม
● ทนต่อการเสียรูปและความเสียหายแม้อยู่ในสภาพอุณหภูมิที่ผันผวน
● คุณสมบัติการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม ช่วยควบคุมไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ

"แผ่นดูดแบบพรุนนี้ถูกออกแบบมาเพื่อใช้ประโยชน์จาก

คุณลักษณะเฉพาะตัวของคาร์บอนได้อย่างเต็มประสิทธิภาพ"

คุณสมบัติ

Material
Porous Carbon
Alumina
Aluminum
Electrical resistance value (μΩ・m)
100
> 1X10^12
2.6 X 10^-2

1. ป้องกันไฟฟ้าสถิตสำหรับเวเฟอร์

- คาร์บอนเป็นวัสดุนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม เนื่องจากไม่เกิดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิต ชิ้นงานที่ถูกดูดจะเชื่อมต่อกับกราวด์โดยอัตโนมัติ
- ช่วยลดปัญหาไฟฟ้าสถิต เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการดูดจับชิ้นงานที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต
- หากเลือกสเปคแบบเคลือบผิว (ออปชันเสริม) ค่าสัมประสิทธิ์ความต้านทานผิวสามารถปรับให้ตรงตามที่ต้องการได้

​​

2. รองรับการใช้งานในอุณหภูมิสูง

- เนื่องด้วยสินค้าผลิตจากคาร์บอนทั้งหมดจึงทำให้สามารถดึงศักยภาพด้านการทนความร้อนของคาร์บอนได้สูงสุด

- สามารถทนความร้อนได้ถึง 250 องศาเซลเซียสในบรรยากาศปกติ และสูงถึง 900องศา เซลเซียสในบรรยากาศก๊าซเฉื่อย
- มีความทนทานในกรณีที่เกิดการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างฉับพลัน จึงไม่เกิดการแตกร้าวแม้จะอยู่ในสถานะร้อนสลับเย็นอย่างรวดเร็ว
- เนื่องจากเป็นวัสดุชนิดเดียวกันทั้งหมด จึงเกิดการขยายตัวจากความร้อนน้อย และให้ความเสถียรในเชิงมิติได้อย่างดีเยี่ยม

3. ลดภาระต่อเครื่องจักรด้วยน้ำหนักที่เบากว่า

- คาร์บอนพรุนมีความหนาแน่นเพียง 1.2 กรัม/ลบ.ซม.
- เมื่อเปรียบเทียบกับแผ่นดูดที่ทำจากเซรามิก น้ำหนักลดลงได้ประมาณ 40%
- นอกจากจะเพิ่มความยืดหยุ่นในการออกแบบเครื่องจักรแล้ว ยังช่วยลดจำนวนชิ้นส่วนและต้นทุนในการผลิตเครื่องจักรอีกด้วย​​​​​

Material
Porous Carbon
Alumina
Aluminum
Bulk density (g/cm³)
1.2
3.6
2.8

การทดลองพลังดูดที่บริเวณบางจุด

น้ำหนักของแผ่นคาร์บอน

ตารางน้ำหนัก

Vacuum surface size (mm)
Thickness (mm)
Weight (g)
Image
Φ200
12
750
Φ300
12
1580
Φ450
20
5660

คุณกำลังมองหาทางเลือกที่ดีกว่าหรือไม่?

ป้องกันประกายไฟและปกป้องเวเฟอร์ (wafers)

กำลังประสบปัญหาประกายไฟจากการคายประจุไฟฟ้าสถิตอยู่หรือไม่?
การระบายประจุแบบช้า (Slow Discharge) คือวิธีที่มีประสิทธิภาพในการแก้ไขปัญหาประกายไฟที่เกิดจากไฟฟ้าสถิต
การระบายประจุแบบช้านั้นเกิดขึ้นเมื่อค่าความต้านทานผิวอยู่ในช่วงของการสลายไฟฟ้าสถิต คือ 10⁵ ถึง 10⁹ Ω
ด้วยแผ่นดูดสูญญากาศที่ผลิตจากวัสดุคาร์บอนทั้งหมดของเรา ค่าความต้านทานผิวสามารถปรับได้ผ่านการเคลือบผิว
ช่วยลดการเกิดประกายไฟระหว่างการดูดและปล่อยเวเฟอร์ ปกป้องเวเฟอร์ และลดภาระต่ออุปกรณ์

Carbon Suction Cup_Prevents sparks.png

ข้อมูลตัวอย่าง
[อุปกรณ์ตัวอย่าง] แผ่นคาร์บอนยึดจับชิ้นงานสุญญากาศ ชนิดเคลือบผิว ขนาด ⌀300มม.

[เครื่องมือวัด] เครื่องวัดค่าความต้านทานพื้นผิว PRS-801 (PROSTAT)

[สถานที่] ห้องปฏิบัติการ
[ผลการตรวจสอบ] 2.0 × 10^6 Ω

② คงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ด้วยการกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอ

กำลังประสบปัญหาฟิล์มลอกไม่สม่ำเสมออยู่หรือไม่?
ปัญหาฟิล์มลอกไม่สม่ำเสมอมักเกิดจากการกระจายอุณหภูมิที่ไม่เท่ากันระหว่างกระบวนการให้ความร้อน
การแก้ไขปัญหานี้คือการควบคุมให้อุณหภูมิทั่วทั้งแท่นดูดเท่ากัน

แผ่นดูดสุญญากาศที่ผลิตจากคาร์บอนทั้งชิ้นสามารถรักษาความแปรผันของอุณหภูมิผิวให้อยู่ในช่วง ±2.5°C ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุปกรณ์ให้ความร้อนเวเฟอร์
ด้วยการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ จะช่วยให้กระบวนการอบเทป DAF มีความเสถียร ช่วยลดข้อบกพร่องจากการลอกของฟิล์ม และช่วยรักษาคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้อย่างดีเยี่ยม

Carbon Suction Cup_Uniform heat distribution_edited.jpg

ข้อมูลการทดสอบ
[ชิ้นงานทดสอบ] แผ่นคาร์บอนดูดจับชิ้นงานสุญญากาศ ขนาด ⌀300มม.
[อุปกรณ์ให้ความร้อน] แผ่นทำความร้อนรุ่น LS45P (ผลิตโดย Hakko Electric Co., Ltd.)
[อุณหภูมิที่ใช้ให้ความร้อน] 150°C
[เครื่องมือวัด] เครื่องถ่ายภาพความร้อน Thermo Tracer TH7102
[สถานที่ทดสอบ] ห้องปฏิบัติการ

③ ปราศจากรอยดูดและเพิ่มความแม่นยำในการเคลือบผิว

​​

คุณพบปัญหาการเคลือบผิวผิดพลาดในเครื่องเคลือบ Spin Coater อยู่หรือไม่?
การดูดจับแบบเต็มพื้นที่ด้วยวัสดุพรุน (Porous) เป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพสูงในการแก้ปัญหาการเคลือบที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งมักเกิดจากรอยดูดบนเวเฟอร์ที่เกิดจากแรงดูดบริเวณรูดูด โดยเฉพาะในกรณีของเวเฟอร์ที่มีความบางเป็นพิเศษ


แผ่นดูดสุญญากาศแบบคาร์บอนทั้งหมดนี้ใช้พื้นผิวพรุนที่ผ่านการขัดแต่งให้มีความเรียบสูง เพื่อช่วยเพิ่มความแม่นยำในการเคลือบผิว


นอกจากนี้ ยังมีความทนทานต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม จึงสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่หลากหลาย
โดยสามารถอัปเกรดอุปกรณ์ของคุณได้ง่าย ๆ เพียงแค่เปลี่ยนหัวหมุนของเครื่องเคลือบ (spinner head)

Carbon_Suction_Cup_Eliminates_suction_marks_and_improves_film_formation_accuracy-removebg-

Spinner Head

④ ลดเวลาการเปลี่ยนอุปกรณ์ด้วยความสามารถรองรับขนาดที่หลากหลาย

คุณเสียเวลาไปกับการตั้งค่าใหม่ เมื่อต้องเปลี่ยนขนาดเวเฟอร์อยู่หรือไม่?

ด้วยดีไซน์แบบหลายแผ่นดูด (multi-pad) พื้นที่ดูดสามารถเปลี่ยนได้ตามขนาดเวเฟอร์
แผ่นดูดชิ้นเดียวสามารถรองรับเวเฟอร์ได้หลายขนาด จึงช่วยให้ประหยัดเวลามากยิ่งขึ้น
แผ่นดูดยังคงประสิทธิภาพในการดูดได้อย่างเหมาะสม โดยไม่ต้องเปลี่ยนการตั้งค่า

สามารถปรับแต่งพื้นที่ดูดให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งที่ต้องการได้อีกด้วย

Carbon Suction Cup_Multi-pad precision suction cup copy.png

Multi-pad (รองรับขนาด ⌀300mm - ⌀200มม.)

การใช้งาน

① Semiconductor Manufacturing (Back-End Process) — By Equipment Type

"การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (กระบวนการด้านหลัง) — แบ่งตามประเภทเครื่องจักร"

  • โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับติดเทปป้องกันพื้นผิวเวเฟอร์

  • โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับลอกเทปป้องกันพื้นผิวเวเฟอร์

  • โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์

  • โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ฉายรังสียูวี

  • แผ่นดูดยึดวัสดุด้วยสูญญากาศในเครื่องติดตั้งเวเฟอร์

  • หัวหมุนสำหรับเครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์ เป็นต้น

② Semiconductor Manufacturing (Back-End Process) — By Process Stage

"การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (กระบวนการด้านหลัง) — แบ่งตามขั้นตอนกระบวนการ"

  • กระบวนการ TSV (Through-Silicon Via)

  • กระบวนการตัดเวเฟอร์ (Dicing)

  • กระบวนการขัดด้านหลังเวเฟอร์ (Backgrinding)

ข้อมูลจำเพาะ
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์แสดงไว้ตามตารางด้านล่าง
เราสามารถปรับแต่งดีไซน์ รูปทรงได้หลากหลายแบบตามความต้องการของคุณโดยสามารถกรอกรายละเอียดความต้องการใส่ฟอร์มด้านล่าง
Material
Porous Carbon (High strength carbon)
Porous Carbon X (Other materials)
Working pressure range
-0.1MPa ~ 0.1MPa
-0.1MPa ~ 0.1MPa
Operating temperature range
~ 250℃
23℃ ± 2℃
Available dimensions (Adsorption surface)
~Φ350 mm ~Φ450 mm
~Φ350 mm ~Φ450 mm
Available dimensions (Thickness)
12 mm ~
15 mm ~ (For metal materials)
Flatness
10 μm ~
5 μm ~
Coating
O
Negotiable
Multi-pad
O
O
ข้อมูลจำเพาะเพิ่มเติม
  • การเคลือบ

การเคลือบผิวบริเวณพื้นที่ที่ใช้ในการดูดจับชิ้นงาน สามารถช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของแผ่นคาร์บอนสุญญากาศได้อย่างมาก รวมถึงสามารถเพิ่มฟังก์ชันเพิ่มเติม เช่น การปรับค่าความต้านทานผิว การเพิ่มคุณสมบัติในการปล่อยวัสดุ และการป้องกันการปนเปื้อน
วัสดุเคลือบผิวที่มีให้เลือก ได้แก่ ชนิดเรซินและชนิดแก้ว
เราจะเลือกใช้วัสดุเคลือบที่เหมาะสมที่สุดตามข้อกำหนดของลูกค้า

  • หลายแผ่นดูด (Multi-pad)

สามารถเพิ่มฟังก์ชันสลับพื้นที่ในการดูดจับชิ้นงานได้
กรุณาระบุจำนวนและตำแหน่งของพื้นที่ในการดูดจับชิ้นงานที่ต้องการแบ่ง

  • เลือกวัสดุด้ามยึดได้

สามารถผลิตตัวด้ามยึด (Holder) ด้วยวัสดุตามที่คุณต้องการได้
นอกจากคาร์บอนความแข็งแรงสูงแล้ว เรายังมีตัวเลือกอื่น เช่น โลหะ CFRP และ เรซิน หรือ วัสดุตามที่คุณต้องการ

※ หมายเหตุ: เมื่อต้องการเปลี่ยนวัสดุตัวจับ พื้นที่ดูดจับจะยื่นสูงกว่าด้านบนของด้ามยึด

Carbon Suction Cup_Holder material specification EN.png

วัสดุด้ามยึด: อลูมิเนียม

สร้างตามแบบที่คุณต้องการ

เมื่อทำการสอบถาม โปรดใช้ "แผ่นข้อมูลการออกแบบ" ด้านล่างร่วมกับข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
เราจะจัดทำใบเสนอราคาและกำหนดการจัดส่งตามข้อมูลที่ให้ไว้

โปรดกรอกรายละเอียดต่อไปนี้เพื่อให้ชิ้นงานเป็นไปตามแบบที่คุณนั้นต้องการ

PTH_Carbon Vacuum Suction Pad Request Form.png
ข้อควรระวังในการใช้งาน
  • เราขอแนะนำให้ใช้แผ่นดูดสูญญากาศคาร์บอน (แผ่นคาร์บอนที่มีรูพรุน) ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

  • ประสิทธิภาพอาจลดลงในสภาพแวดล้อมที่มีน้ำมันหรือความชื้น

  • ความเรียบของผลิตภัณฑ์นี้รับประกันที่อุณหภูมิ 23°C ± 2°C

  • โปรดระบุสภาพแวดล้อมการใช้งานเมื่อทำการสอบถาม

bottom of page