แผ่นคาร์บอนดูดจับชิ้นงานสุญญากาศ
(Porous Carbon Pad - Porous Vacuum Chucks)
การนำไฟฟ้าของคาร์บอนช่วยป้องกันความเสียหายที่เกิดจากประกายไฟ
ข้อมูลสินค้า
รองรับชิ้นงานขนาดเส้นผ่านศูนย์กลาง 450 มม.
ด้วยความแม่นยำสูงสุดกับแผ่นคาร์บอนสุญญากาศ
Φ300mm Porous Carbon Pad
● แผ่นดูดสูญญากาศชนิดนี้ผลิตจากวัสดุคาร์บอนทั้งหมด โดยทำการรวมวัสดุคาร์บอนพรุนสำหรับการดูดซับเข้ากับโครงสร้างคาร์บอนที่มีความแข็งแรงสูง
● สามารถดูดจับซิลิคอนเวเฟอร์ (silicon wafers), เทปกาว BG (BG tape), แผ่นฟิล์มติดดาย และเทปไดซิ่งตัดชิ้นงานได้เต็มพื้นที่ผิวด้วยวัสดุพรุน
● ขนาดรูเฉลี่ยเล็กเพียง 5 ไมครอน จึงสามารถช่วยป้องกันการเกิดรอยดูดบนวัสดุชิ้นงานได้
● รองรับการดูดเฉพาะจุดได้ด้วยคุณสมบัติการควบคุมแรงดูดที่เหมาะสม
● ทนต่อการเสียรูปและความเสียหายแม้อยู่ในสภาพอุณหภูมิที่ผันผวน
● คุณสมบัติการนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม ช่วยควบคุมไฟฟ้าสถิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ
"แผ่นดูดแบบพรุนนี้ถูกออกแบบมาเพื่อใช้ประโยชน์จาก
คุณลักษณะเฉพาะตัวของคาร์บอนได้อย่างเต็มประสิทธิภาพ"
คุณสมบัติ
Material | Porous Carbon | Alumina | Aluminum |
|---|---|---|---|
Electrical resistance value (μΩ・m) | 100 | > 1X10^12 | 2.6 X 10^-2 |
1. ป้องกันไฟฟ้าสถิตสำหรับเวเฟอร์
- คาร์บอนเป็นวัสดุนำไฟฟ้าที่ดีเยี่ยม เนื่องจากไม่เกิดการสะสมของประจุไฟฟ้าสถิต ชิ้นงานที่ถูกดูดจะเชื่อมต่อกับกราวด์โดยอัตโนมัติ
- ช่วยลดปัญหาไฟฟ้าสถิต เหมาะอย่างยิ่งสำหรับการดูดจับชิ้นงานที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต
- หากเลือกสเปคแบบเคลือบผิว (ออปชันเสริม) ค่าสัมประสิทธิ์ความต้านทานผิวสามารถปรับให้ตรงตามที่ต้องการได้
2. รองรับการใช้งานในอุณหภูมิสูง
- เนื่องด้วยสินค้าผลิตจากคาร์บอนทั้งหมดจึงทำให้สามารถดึงศักยภาพด้านการทนความร้อนของคาร์บอนได้สูงสุด
- สามารถทนความร้อนได้ถึง 250 องศาเซลเซียสในบรรยากาศปกติ และสูงถึง 900องศา เซลเซียสในบรรยากาศก๊าซเฉื่อย
- มีความทนทานในกรณีที่เกิดการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิอย่างฉับพลัน จึงไม่เกิดการแตกร้าวแม้จะอยู่ในสถานะร้อนสลับเย็นอย่างรวดเร็ว
- เนื่องจากเป็นวัสดุชนิดเดียวกันทั้งหมด จึงเกิดการขยายตัวจากความร้อนน้อย และให้ความเสถียรในเชิงมิติได้อย่างดีเยี่ยม
3. ลดภาระต่อเครื่องจักรด้วยน้ำหนักที่เบากว่า
- คาร์บอนพรุนมีความหนาแน่นเพียง 1.2 กรัม/ลบ.ซม.
- เมื่อเปรียบเทียบกับแผ่นดูดที่ทำจากเซรามิก น้ำหนักลดลงได้ประมาณ 40%
- นอกจากจะเพิ่มความยืดหยุ่นในการออกแบบเครื่องจักรแล้ว ยังช่วยลดจำนวนชิ้นส่วนและต้นทุนในการผลิตเครื่องจักรอีกด้วย
Material | Porous Carbon | Alumina | Aluminum |
|---|---|---|---|
Bulk density (g/cm³) | 1.2 | 3.6 | 2.8 |
การทดลองพลังดูดที่บริเวณบางจุด
น้ำหนักของแผ่นคาร์บอน
ตารางน้ำหนัก
Vacuum surface size (mm) | Thickness (mm) | Weight (g) | Image |
|---|---|---|---|
Φ200 | 12 | 750 | |
Φ300 | 12 | 1580 | |
Φ450 | 20 | 5660 |
คุณกำลังมองหาทางเลือกที่ดีกว่าหรือไม่?
① ป้องกันประกายไฟและปกป้องเวเฟอร์ (wafers)
กำลังประสบปัญหาประกายไฟจากการคายประจุไฟฟ้าสถิตอยู่หรือไม่?
การระบายประจุแบบช้า (Slow Discharge) คือวิธีที่มีประสิทธิภาพในการแก้ไขปัญหาประกายไฟที่เกิดจากไฟฟ้าสถิต
การระบายประจุแบบช้านั้นเกิดขึ้นเมื่อค่าความต้านทานผิวอยู่ในช่วงของการสลายไฟฟ้าสถิต คือ 10⁵ ถึง 10⁹ Ω
ด้วยแผ่นดูดสูญญากาศที่ผลิตจากวัสดุคาร์บอนทั้งหมดของเรา ค่าความต้านทานผิวสามารถปรับได้ผ่านการเคลือบผิว
ช่วยลดการเกิดประกายไฟระหว่างการดูดและปล่อยเวเฟอร์ ปกป้องเวเฟอร์ และลดภาระต่ออุปกรณ์
ข้อมูลตัวอย่าง
[อุปกรณ์ตัวอย่าง] แผ่นคาร์บอนยึดจับชิ้นงานสุญญากาศ ชนิดเคลือบผิว ขนาด ⌀300มม.
[เครื่องมือวัด] เครื่องวัดค่าความต้านทานพื้นผิว PRS-801 (PROSTAT)
[สถานที่] ห้องปฏิบัติการ
[ผลการตรวจสอบ] 2.0 × 10^6 Ω
② คงคุณภาพของผลิตภัณฑ์ด้วยการกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอ
กำลังประสบปัญหาฟิล์มลอกไม่สม่ำเสมออยู่หรือไม่?
ปัญหาฟิล์มลอกไม่สม่ำเสมอมักเกิดจากการกระจายอุณหภูมิที่ไม่เท่ากันระหว่างกระบวนการให้ความร้อน
การแก้ไขปัญหานี้คือการควบคุมให้อุณหภูมิทั่วทั้งแท่นดูดเท่ากัน
แผ่นดูดสุญญากาศที่ผลิตจากคาร์บอนทั้งชิ้นสามารถรักษาความแปรผันของอุณหภูมิผิวให้อยู่ในช่วง ±2.5°C ซึ่งเป็นไปตามข้อกำหนดที่เข้มงวดของอุปกรณ์ให้ความร้อนเวเฟอร์
ด้วยการกระจายอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ จะช่วยให้กระบวนการอบเทป DAF มีความเสถียร ช่วยลดข้อบกพร่องจากการลอกของฟิล์ม และช่วยรักษาคุณภาพของผลิตภัณฑ์ได้อย่างดีเยี่ยม
ข้อมูลการทดสอบ
[ชิ้นงานทดสอบ] แผ่นคาร์บอนดูดจับชิ้นงานสุญญากาศ ขนาด ⌀300มม.
[อุปกรณ์ให้ความร้อน] แผ่นทำความร้อนรุ่น LS45P (ผลิตโดย Hakko Electric Co., Ltd.)
[อุณหภูมิที่ใช้ให้ความร้อน] 150°C
[เครื่องมือวัด] เครื่องถ่ายภาพความร้อน Thermo Tracer TH7102
[สถานที่ทดสอบ] ห้องปฏิบัติการ
③ ปราศจากรอยดูดและเพิ่มความแม่นยำในการเคลือบผิว
คุณพบปัญหาการเคลือบผิวผิดพลาดในเครื่องเคลือบ Spin Coater อยู่หรือไม่?
การดูดจับแบบเต็มพื้นที่ด้วยวัสดุพรุน (Porous) เป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพสูงในการแก้ปัญหาการเคลือบที่ไม่สม่ำเสมอ ซึ่งมักเกิดจากรอยดูดบนเวเฟอร์ที่เกิดจากแรงดูดบริเวณรูดูด โดยเฉพาะในกรณีของเวเฟอร์ที่มีความบางเป็นพิเศษ
แผ่นดูดสุญญากาศแบบคาร์บอนทั้งหมดนี้ใช้พื้นผิวพรุนที่ผ่านการขัดแต่งให้มีความเรียบสูง เพื่อช่วยเพิ่มความแม่นยำในการเคลือบผิว
นอกจากนี้ ยังมีความทนทานต่อสารเคมีที่ยอดเยี่ยม จึงสามารถใช้งานได้ในสภาพแวดล้อมการผลิตที่หลากหลาย
โดยสามารถอัปเกรดอุปกรณ์ของคุณได้ง่าย ๆ เพียงแค่เปลี่ยนหัวหมุนของเครื่องเคลือบ (spinner head)
Spinner Head
④ ลดเวลาการเปลี่ยนอุปกรณ์ด้วยความสามารถรองรับขนาดที่หลากหลาย
คุณเสียเวลาไปกับการตั้งค่าใหม่ เมื่อต้องเปลี่ยนขนาดเวเฟอร์อยู่หรือไม่?
ด้วยดีไซน์แบบหลายแผ่นดูด (multi-pad) พื้นที่ดูดสามารถเปลี่ยนได้ตามขนาดเวเฟอร์
แผ่นดูดชิ้นเดียวสามารถรองรับเวเฟอร์ได้หลายขนาด จึงช่วยให้ประหยัดเวลามากยิ่งขึ้น
แผ่นดูดยังคงประสิทธิภาพในการดูดได้อย่างเหมาะสม โดยไม่ต้องเปลี่ยนการตั้งค่า
สามารถปรับแต่งพื้นที่ดูดให้ตรงกับขนาดและตำแหน่งที่ต้องการได้อีกด้วย
Multi-pad (รองรับขนาด ⌀300mm - ⌀200มม.)
การใช้งาน
① Semiconductor Manufacturing (Back-End Process) — By Equipment Type
"การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (กระบวนการด้านหลัง) — แบ่งตามประเภทเครื่องจักร"
-
โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับติดเทปป้องกันพื้นผิวเวเฟอร์
-
โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับลอกเทปป้องกันพื้นผิวเวเฟอร์
-
โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ตรวจสอบเวเฟอร์
-
โต๊ะดูดสูญญากาศสำหรับอุปกรณ์ฉายรังสียูวี
-
แผ่นดูดยึดวัสดุด้วยสูญญากาศในเครื่องติดตั้งเวเฟอร์
-
หัวหมุนสำหรับเครื่องทำความสะอาดเวเฟอร์ เป็นต้น
② Semiconductor Manufacturing (Back-End Process) — By Process Stage
"การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ (กระบวนการด้านหลัง) — แบ่งตามขั้นตอนกระบวนการ"
-
กระบวนการ TSV (Through-Silicon Via)
-
กระบวนการตัดเวเฟอร์ (Dicing)
-
กระบวนการขัดด้านหลังเวเฟอร์ (Backgrinding)
ข้อมูลจำเพาะ
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์แสดงไว้ตามตารางด้านล่าง
เราสามารถปรับแต่งดีไซน์ รูปทรงได้หลากหลายแบบตามความต้องการของคุณโดยสามารถกรอกรายละเอียดความต้องการใส่ฟอร์มด้านล่าง
Material | Porous Carbon (High strength carbon) | Porous Carbon X (Other materials) |
|---|---|---|
Working pressure range | -0.1MPa ~ 0.1MPa | -0.1MPa ~ 0.1MPa |
Operating temperature range | ～ 250℃ | 23℃ ± 2℃ |
Available dimensions (Adsorption surface) | ～Φ350 mm
～Φ450 mm | ～Φ350 mm
～Φ450 mm |
Available dimensions (Thickness) | 12 mm ～ | 15 mm ～
(For metal materials) |
Flatness | 10 μm ～ | 5 μm ～ |
Coating | O | Negotiable |
Multi-pad | O | O |
ข้อมูลจำเพาะเพิ่มเต ิม
-
การเคลือบ
การเคลือบผิวบริเวณพื้นที่ที่ใช้ในการดูดจับชิ้นงาน สามารถช่วยเพิ่มประสิทธิภาพของแผ่นคาร์บอนสุญญากาศได้อย่างมาก รวมถึงสามารถเพิ่มฟังก์ชันเพิ่มเติม เช่น การปรับค่าความต้านทานผิว การเพิ่มคุณสมบัติในการปล่อยวัสดุ และการป้องกันการปนเปื้อน
วัสดุเคลือบผิวที่มีให้เลือก ได้แก่ ชนิดเรซินและชนิดแก้ว
เราจะเลือกใช้วัสดุเคลือบที่เหมาะสมที่สุดตามข้อกำหนดของลูกค้า
-
หลายแผ่นดูด (Multi-pad)
สามารถเพิ่มฟังก์ชันสลับพื้นที่ในการดูดจับชิ้นงานได้
กรุณาระบุจำนวนและตำแหน่งของพื้นที่ในการดูดจับชิ้นงานที่ต้องการแบ่ง
-
เลือกวัสดุด้ามยึดได้
สามารถผลิตตัวด้ามยึด (Holder) ด้วยวัสดุตามที่คุณต้องการได้
นอกจากคาร์บอนความแข็งแรงสูงแล้ว เรายังมีตัวเลือกอื่น เช่น โลหะ CFRP และ เรซิน หรือ วัสดุตามที่คุณต้องการ
※ หมายเหตุ: เมื่อต้องการเปลี่ยนวัสดุตัวจับ พื้นที่ดูดจับจะยื่นสูงกว่าด้านบนของด้ามยึด
วัสดุด้ามยึด: อลูมิเนียม
สร้างตามแบบที่คุณต้องการ
เมื่อทำการสอบถาม โปรดใช้ "แผ่นข้อมูลการออกแบบ" ด้านล่างร่วมกับข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์
เราจะจัดทำใบเสนอราคาและกำหนดการจัดส่งตามข้อมูลที่ให้ไว้
โปรดกรอกรายละเอียดต่อไปนี้เพื่อให้ชิ้นงานเป็นไปตามแบบที่คุณนั้นต้องการ
ข้อควรระวังในการใช้งาน
-
เราขอแนะนำให้ใช้แผ่นดูดสูญญากาศคาร์บอน (แผ่นคาร์บอนที่มีรูพรุน) ในสภาพแวดล้อมที่สะอาด
-
ประสิทธิภาพอาจลดลงในสภาพแวดล้อมที่มีน้ำมันหรือความชื้น
-
ความเรียบของผลิตภัณฑ์นี้รับประกันที่อุณหภูมิ 23°C ± 2°C
-
โปรดระบุสภาพแวดล้อมการใช้งานเมื่อทำการสอบถาม